项目简介
黑硅技术需要五种辅助剂参与调控:
1)多晶硅碱反应控制剂(A),用于初抛阶段清洗、辅助去损伤层和形成凸起结构;2)多晶硅制绒金属离子辅助刻蚀剂(B);3)多晶硅制绒造孔调节剂(C)和(D);4)多晶硅常温修正刻蚀活性稳定剂(E),这五种调控剂协同作用,主要利用湿法化学刻蚀对多晶硅片进行处理,既可用于砂浆线切割多晶硅片制备黑硅绒面,又可以对金刚线切割多晶硅片制备黑硅绒面。
项目亮点
1、国内外首次提出一种新型的黑硅制绒技术,解决了金刚线切割多晶硅片制绒难问题及绒面不均匀的难题;
2、低制造成本,高转换效率,较常规酸制绒砂浆线切割多晶硅片效率提升0.2%以上。
项目需求
1、批量制造及批量销售
2、融资1000万元